電容式位移傳感器及測量系統 

測量原理
  nanoCDMS(非接觸電容位移傳感器)是基于平行板電容原理設計開發的，傳感器與被測物體各自等效為一個平板電極，通過激勵電路給傳感器一個穩定持續的激勵信號，激勵信號的幅值變化與電容到被測物體間的距離成正比。激勵信號經過精密解調電路解調，通過相應的算法得出電容與距離的比例關系。

C=?0*?r*   

  電容C與有源傳感器表面A成正比，d是傳感器和目標表面之間的距離，?0是一個常數，?r是電容器極板之間材料的介電常數，一般為空氣。

C-電容

A-有源傳感器表面

D-傳感器和目標表面之間的距離

?0-常數

?r-電容器極板之間材料的介電常數

優勢特點

-非接觸式測量，無磨損

-三電極結構和電場屏蔽環構造

-近距離高精度，測量精度可達納米級

-單一通道多通道可選

-探頭對被測物體不施機械外力

-被測物體導電性強弱不影響測量